晶星科技主導編制兩項國家標準

寧寧

　隨州論壇訊（全媒記者張琴、通訊員胡春雷、朱荔）日前，國家市場監(jiān)管總局發(fā)布了2020年第17號中華人民共和國國家標準公告，由我市湖北晶星科技股份有限公司歷時四年主導起草編制的《電子工業(yè)用二氯硅烷》《電子工業(yè)用四氯化硅》兩項國家標準正式發(fā)布，將于2021年2月1日實施。
　　該兩項國家標準的發(fā)布實施，填補了我國兩類電子工業(yè)用氣體的標準空白，將為提高我國自主生產電子工業(yè)用氣體的能力，促進先進半導體材料制造業(yè)的迅速發(fā)展，提供技術依據和可靠保障，對有效提高企業(yè)標準話語權和知名度、提升企業(yè)核心競爭力也具有十分重要的意義。
　　據了解，高純二氯硅烷主要用于電子半導體、集成電路工業(yè)中硅外延及集成電路上氮化硅掩蔽膜和多晶硅膜等含硅薄膜的制備，是一種性能極佳的外延淀積材料；高純四氯化硅是光纖、光電傳感器生產的主原料，也用于集成電路的刻蝕工藝以及存儲器的薄膜工藝。受標準缺乏等因素制約，國內這兩種產品的產能較小，主要依賴進口，無法滿足集成電路產業(yè)市場龐大的需求。
　　為適應先進半導體材料的迅速發(fā)展，提高我國自主生產電子工業(yè)用氣體的能力，晶星科技2016年向國家標準化管理委員會提出申請并立項，由全國半導體設備和材料標準化技術委員氣體分會組織成立了標準起草小組，由晶星科技主導起草編制工作。
　　市市場監(jiān)管局對兩項標準的起草編制工作高度重視，全程做好跟蹤服務，最終通過標準審查，兩項標準達到了國際同類產品先進水平。該局有關負責人表示，將堅決落實省、市關于加大力度優(yōu)化營商環(huán)境、以“店小二”精神支持服務市場主體發(fā)展的各項舉措，推動隨州企業(yè)有更多的標準話語權和競爭力，為隨州高質量發(fā)展貢獻力量。